• Tidak ada hasil yang ditemukan

PENGARUH DAYA RF SPUTTERING DAN WAKTU DEPOSISI TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SnO2 YANG TERBENTUK SEBAGAI BAHAN SENSOR GAS - e-Repository BATAN

N/A
N/A
Protected

Academic year: 2019

Membagikan "PENGARUH DAYA RF SPUTTERING DAN WAKTU DEPOSISI TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS SnO2 YANG TERBENTUK SEBAGAI BAHAN SENSOR GAS - e-Repository BATAN"

Copied!
12
0
0

Teks penuh

Loading

Gambar

Gambar 2.  Hubungan variasi daya sputtering terhadap sensitivitas untuk waktu sputtering 30 menit dengan gas uji : (a) C2H5OH; (b) NH3; (c) CO; (d) HNO3
Gambar 3.  Hubungan variasi waktu sputtering Dari variasi waktu untuk daya sputtering 180 W tehadap sensitivitas bahan sensor gas dengan gas uji : C2H5OH;  NH3;  CO dan  HNO3
Gambar 4.  Hubungan  waktu  tanggap  terhadap  gas  uji untuk daya sputtering 180 W dengan waktu sputtering 30 menit
Gambar 6.  Strukturmikro permukaan lapisan tipis SnO2 yang dideposisi dengan daya 160 W selama 30 menit dengan pembesaran 10.000 kali
+2

Referensi

Dokumen terkait

Nilai pada Tabel 2 mengindikasikan bahwa secara finansial pengusahaan hutan rakyat pinus yang ada di Kabupaten Tana Toraja adalah layak dan dapat memberikan

Namun untuk ukuran maksimum agregat 20 mm dan 40 mm maka gradasi agregat harus dikoreksi terlebih dahulu, sehingga nilai modulus kehalusan gabungan agregat atau

Penulis bersyukur dapat menyelesaikan skripsi ini dalam rangka untuk memenuhi persyaratan mendapatkan gelar Sarjana Pendidikan S1 Program Pendidikan Matematika

Pada tanggal 24 Maret 2020 Menteri Pendidikan dan Kebudayaan mengeluarkan surat Edaran Nomor 4 Tahun 2020 tentang Pelaksanaan Kebijakan Pendidikan Dalam Masa

Sifat optik sampel Al doped ZnO nanopartikel dikarakterisasi menggunakan Genesys 10S SpectrophotometerUv-vis untuk mengetahui spektrum penyerapannya.Hasil dari pengujian

Berikut ditampilkan hasil rekapitulasi momen ultimit pada station yang ditinjau dan hasil perbandingannya terhadap nilai momen nominal dan momen retak serta

Penelitian ini merupakan penelitian kualitatif yang bertujuan untuk mengeksplorasi faktor-faktor yang menyebabkan terjadinya sisa lebih perhitungan anggaran (SiLPA)

• Tindakan atau cara yang dilakukan untuk mencegah atau menanggulangi dan menjaga hardware, program, jaringan dan data dari bahaya fisik dan kejadian yang dapat menyebabkan